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 低温等离子属于高压静电场的一种，他是由电子、离子、自由基和中性离子流组成。工作状态呈流星雨状导电流体，属固态、液态、气态之外第四种物质形态。等离子发生器整体保持电中性，可靠。按离子的温度，等离子分为热平衡等离子体、非平衡等离子体和低温等离子体。